LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修VAT61340-PEGK-BED1閥門出售

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等離子注入機刻蝕VAT閥門08

本公司主要經營的品牌有：

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORECTI BROOKS遠程顯示器模塊控制OB8 iso200接口現貨

SAM

STEC

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻系統的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發器低溫泵。  

客戶得益  

- 所有氣體都有高抽速  

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。  

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側沒有任何機械活動  

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空  

其它優點：  

- 僅啟動和再生期間需要前級泵  

- 性價比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用  

萊寶真空生產的低溫泵采用本廠生產的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。  

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。  

熱輻射防護屏和障板為銅質，它們能很好地傳遞熱量，從而優化制冷容量。  

根據工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。  

COOLVAC制冷機低溫泵  

為了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。  

低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內，飽和后必須泵排出。  

非電控再生系統的低溫泵這種低溫泵通過向泵內吹掃干燥、預熱的惰性氣體（例如氮氣）加熱低溫區到室溫。此情況下，由于低溫泵內不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。  

由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時驅動兩個以上冷頭或低溫泵。  

- 極大的降低投資和操作成本  

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內可以達到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續排出，也就是按以下順序氣體一個接一個  

-?吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、? 氦氣、氖氣）  

-?冷凝在障板和熱輻射防護屏上的氣? 體和蒸汽（例如水蒸汽）  

加溫過程為全自動，泵內的壓強和溫度分布，始終由控制系統確定和控制，從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。  

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動加熱再生（iCL）兩個系列：  

品。  

2. COOLVAC BaseLine的命名規則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產品。  

萊寶真空可以根據客戶要求提供特制低溫泵，如為航天環境模擬應用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細信息請和我們聯系。  

- 蒸發器  

- 離子注入機